?氬氣在等離子清洗機(jī)中應(yīng)用優(yōu)勢

來源：m.scpaeok.cn | 發(fā)布時(shí)間：2022年09月16日

氬氣在等離子清洗機(jī)中應(yīng)用優(yōu)勢
我們了解到氬氣用在離子清洗機(jī)中主要作用有表面清潔，表面粗化，活性輔助等，它在這些應(yīng)用具有避免電子器件氧化，便于區(qū)分等的優(yōu)勢，但是新疆高純氣體廠家這里要提醒大家在等離子清洗機(jī)種使用的氬氣在質(zhì)量上是需要有保障的.
1、避免電子器件氧化
氬氣是一種惰性氣體，電離后產(chǎn)生的離子體不會與基材發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，在等離子清洗中主要被應(yīng)用于基材表面的物理清洗及表面粗化，較大的特點(diǎn)就是在表面清洗中不會造成精密電子器件的表面氧化。正因如此，氬等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體、微電子、晶圓制造等行業(yè)被廣泛應(yīng)用。
2、便于區(qū)分
氬氣在真空等離子清洗機(jī)中被電離所產(chǎn)生的等離子體呈暗紅色。在相同的放電環(huán)境下，氫氣和氮?dú)馑a(chǎn)生的等離子體顏色都是呈紅色，但氬等離子體的亮度會低于氮?dú)馇腋哂跉錃?，還是比較好區(qū)分的。
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